电子级四甲氧基硅烷-半导体抛光液

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四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子(硅溶胶),其分散性及选择性好,活性极强,易于处理过程清洗的废液,常用于硅、SiO2层间介电层的抛光。

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产品描述

四甲氧基硅烷-电子级

分子式:C4H12O4Si

分子量:152

产品特性

四甲氧基硅烷可以水解形成二氧化硅研磨粒子(硅溶胶),其分散性及选择性好,活性极强,易于处理过程清洗的废液,常用于硅、SiO2层间介电层的抛光。

四甲氧基硅烷的二氧化硅含量比四乙氧基硅烷的高,做成二氧化硅研磨粒子成本更低。

  • 电子级
  • 硅溶胶
  • 半导体抛光液

附加信息

应用领域

半导体